氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法:1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。2. 确认系统中的压力为0,如果系统中还有正压,要先将系统中的气体放掉。3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门,开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作,直至达到可以检测的状态。4. 记录下检漏仪的背景氦漏率,该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后,才可以进行喷吹工作。5. 从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测,将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处,使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间,确认没有泄漏后,进行下一个焊道或连接处的检测,直到较后一个焊道或连接处。怎么确定氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度?扬州氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪开机步骤:1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,戴表压强的质谱室表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对被检件喷氦检漏。检漏完毕。扬州氦质谱检漏仪价钱氦质谱检漏仪修长的体积,优越的性能,适用于众多行业。
氦质谱检漏仪的日常保养与维护:1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间。2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自身检漏,发现漏点后要及时取下清洗或固紧,以免在检漏时干扰检漏工作。4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)。5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦检漏仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用此仪器。6.使用时,注意观察仪器的运行情况,一旦发现问题(如较大振动、高噪音等),仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源,并排除故障。
氦质谱检漏仪技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。氦质谱检漏仪背压法优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测。
氦质谱检漏仪的结构组成:它通过质谱室的重点供电和测量,所以作为供电的重点部分,其中一部分属于真空部分,对这部分的重点检测要求非常高,通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小,由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小,必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器,低频发生器产生频率为5~7Hz,振幅为14~16V的调制电压,该电压叠加在加速电压上,实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流,从而保持灯丝发射电流稳定,提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节,以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值,由仪器显示,其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时,放电电流增大,使继电器动作,然后切断灯丝加热电流,保护灯丝不被烧毁。氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名,但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等。扬州氦质谱检漏仪价钱
选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求,国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。扬州氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法有哪些?如果发现检漏仪的指示值有上升的现象,待到检漏仪读值恢复正常后,重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏,如果确认不是该焊道或连接处有漏,要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处,直到找到漏点为止。直至所有的接点都被检测到,检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后,继续观察检漏仪的读值10分钟左右,确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。如果每个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s,说明该系统的漏率是符合要求的。测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。将检漏仪与系统分开。扬州氦质谱检漏仪价钱
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